Full Scale Range (N2 Eqv)

單氣體2-5000sccm |單氣體5-50slm

Control Valve Type 閥門類型

常開式或常閉式螺線管（NC or NO）

Fitting 接頭

1/4"VCR or 1/4"Swagelok 兼容

Seals密封

橡膠Viton

Response Time響應時間

wlSec（超過滿量程10%）

Accuracy精確性

25%-100%:w ±1%SP (滿量程25% 到 100%) 2%-25%: w ±0.25%F.S (滿量程2% 到 25%)

Linearity線性度

w滿量程的土 0.5%

Repeatability 重復性

w滿量程的±0.2%

Differential Pressure 壓差

7- 40psi

Leak Integrity 漏率

Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

Control Range控制范圍

滿量程的2-100%

Max Operating Pressure最高操作壓力

70psi

Proof Pressure 承受壓力

最大值140psi

Communication Type 通訊模式

模擬 0-5V/RS485

Input Power輸入功率

+15VDC ±2% at 100mA

-15VDC ±2% at 200mA

Command Signal輸入模擬信號

模擬信號0-5 VDC（輸入阻抗＞1M Q） /數字信號0-100%

Output Signal輸岀模擬信號

模擬信號0-5 VDC（輸入阻抗＞2M Q）/數字信號0-100%

Power Consumption功耗

4.5W

Temperature Range 溫度范圍

5-45 Deg C

Materials 材料

316LSS,316SS, PTFE

Weight重量

0.9KG

Surface Finishing 表面處理

5RA